Відділ був створений у 1981р. під назвою «Відділ напівпровідникової плазми». У 1989р. був перейменований і отримав назву «Відділ радіофізики твердого тіла».

З моменту його заснування і до 2015 р. відділ очолював доктор фіз.-мат. наук, професор, академік НАН України В.М. Яковенко. З 2015 р. по теперішній час керівником відділу є д.ф.-м.н. Ю.О. Аверков.

Станом на 2025р. у відділі працює 21 співробітник, з них 6 докторів наук, 8 кандидатів наук, один доктор філософії, один головній науковий співробітник, 2 провідних наукових співробітників, 9 старших наукових співробітників, 2 наукових співробітника та 1 молодший науковий співробітник.